Echipamentele de sputtering cu magnetron joacă un rol cheie în multe domenii, cum ar fi tratarea suprafeței materialelor și prepararea filmului. Întreținerea zilnică este esențială pentru a asigura funcționarea stabilă a echipamentului, pentru a -și extinde durata de viață și pentru a asigura calitatea filmului sputtered. Următoarele se vor elabora cu privire la punctele cheie ale întreținerii zilnice a echipamentelor de sputtering cu magnetron.
Întreținerea sistemului de vid
1. Întreținerea pompei de vid: pompa de vid este componenta de bază a sistemului de vid al echipamentului de sputtering Magnetron. Verificați în mod regulat nivelul de ulei al pompei de vid pentru a vă asigura că nivelul uleiului este în intervalul normal. După utilizarea pe termen lung, performanța uleiului de pompă de vid se va deteriora din cauza adsorbției impurităților și a umidității. În general, uleiul de pompă de vid trebuie înlocuit în fiecare anumită perioadă de funcționare (de exemplu, 2000 de ore). În același timp, acordați atenție pentru a verifica etanșeitatea centurii de pompă de vid. O centură prea liberă va face ca viteza pompei de vid să fie instabilă și va afecta eficiența de evacuare; Prea strâns poate accelera uzura centurii. Dacă centura prezintă semne de uzură sau îmbătrânire, ar trebui înlocuită la timp.
2. Curățarea conductelor de vid: conducta de vid este canalul care leagă pompa de vid și camera de sputtering, care este ușor de absorbit praful, impuritățile și particulele generate în timpul procesului de sputtering. Utilizați regulat un instrument dedicat de curățare a conductelor de vid pentru a curăța interiorul conductei pentru a îndepărta impuritățile atașate. Pentru părțile dificil de curățat, poate fi utilizată purjarea gazelor, dar trebuie asigurată curățenia gazelor de curățare. În plus, verificați etanșeitatea conductei pentru a vedea dacă există vreo scurgere. O scurgere mică poate determina gradul de vid să nu ajungă la starea ideală, afectând efectul de sputtering. Un detector de scurgere a spectrometrului de masă de heliu poate fi utilizat pentru a detecta scurgerile din conductă, iar scurgerile pot fi reparate la timp.
3. Calibrarea gabaritului de vid: Ecartamentul de vid este utilizat pentru a măsura gradul de vid al sistemului de vid, iar precizia de măsurare este direct legată de judecata operatorului asupra stării de operare a echipamentului. Calibrați regulat gabaritul de vid și, în general, este recomandat să -l calibrați o dată la șase luni sau un an. Procesul de calibrare trebuie efectuat în conformitate cu manualul de funcționare furnizat de producătorul de echipamente, iar echipamentele de calibrare standard trebuie utilizate pentru a se asigura că datele gradului de vid măsurate de gabaritul de vid sunt corecte și fiabile.
Sputtering Tinke Targetance
1. Curățarea suprafeței țintă: în timpul procesului de sputtering, produsele de sputtering și impuritățile se vor depune treptat pe suprafața țintă, afectând rata de sputtering și calitatea filmului. După fiecare utilizare a echipamentului, suprafața țintă trebuie curățată la timp. Pentru țintele metalice, o perie specială de curățare a țintelor poate fi utilizată pentru a elimina ușor depozitele de suprafață; Pentru unele ținte mai sensibile, cum ar fi țintele ceramice, este necesară o metodă de curățare mai blândă, cum ar fi ștergerea ușoară cu o cârpă moale curată scufundată într -o cantitate adecvată de agent de curățare special. Evitați să folosiți instrumente ascuțite pentru a zgâria suprafața țintei pentru a evita deteriorarea țintei.
2. Inspecția de instalare a țintei: Verificați regulat instalarea țintei pentru a vă asigura că ținta este instalată ferm. Ținta va fi bombardată de ioni de mare viteză în timpul procesului de sputtering. Dacă nu este instalat ferm, poate determina aglomerarea sau chiar să cadă, ceea ce nu numai că va afecta efectul de sputtering, ci și deteriorarea echipamentului. Verificați dacă conexiunea dintre țintă și sursa de alimentare cu sputtering este bună. Scăderea conexiunii poate face ca procesul de sputtering să fie instabil și să provoace fenomene anormale, cum ar fi scânteia. Dacă se constată că conexiunea este liberă, șuruburile de conectare trebuie strânse la timp.
3. Monitorizarea duratei de viață a serviciului țintă: diferite tipuri de materiale țintă au durata lor de viață specifică. Acordați o atenție deosebită timpului de sputtering și efectului de sputtering al țintei. Atunci când rata de sputtering a țintei scade semnificativ și calitatea filmului fluctuează, poate însemna că ținta este aproape de durata de viață a serviciului. Înlocuiți materialul țintă la timp pentru a asigura stabilitatea procesului de sputtering și consistența calității filmului. În același timp, înregistrați timpul de utilizare și parametrii conexi ai materialului țintă pentru a oferi o bază pentru înlocuirea ulterioară a materialului țintă și evaluarea performanței.
Întreținerea sistemului electric
1. Inspecția alimentării de energie: Sursa de alimentare a echipamentului de sputtering cu magnetron oferă energie pentru procesul de sputtering, iar stabilitatea acestuia este crucială. Verificați în mod regulat dacă tensiunea de ieșire și curentul sursei de alimentare sunt în intervalul normal. Puteți utiliza instrumente profesionale de măsurare electrică pentru a detecta sursa de alimentare pentru a verifica dacă parametrii de ieșire sunt în concordanță cu valorile de setare a echipamentelor. Dacă se constată că tensiunea de ieșire sau curentul fluctuează anormal, cauza ar trebui să fie investigată prompt. Poate fi o defecțiune în componentele interne ale sursei de alimentare sau o problemă cu conexiunea de linie. În plus, verificați disiparea de căldură a sursei de alimentare pentru a vă asigura că sursa de alimentare poate disipa căldura în mod normal în timpul funcționării. Sursa de alimentare va genera multă căldură atunci când lucrați mult timp. Dacă disiparea căldurii este slabă, poate provoca daune componentelor. Curățați praful de pe radiatorul de alimentare pentru a vă asigura că ventilatorul de răcire funcționează normal.
2. Întreținerea circuitului electric: verificați dacă circuitul electric din interiorul echipamentului este îmbătrânit sau deteriorat. După utilizarea pe termen lung, circuitul electric poate avea probleme precum îmbătrânirea stratului de izolare și deteriorarea firului, ceea ce va aduce pericole de siguranță și va afecta funcționarea normală a echipamentului. Pentru îmbătrânirea sau circuitele deteriorate găsite, acestea ar trebui înlocuite la timp. În același timp, asigurați -vă că conexiunea de linie este fermă pentru a evita slăbiciunea care provoacă un contact slab. Punctele de conectare libere pot genera scântei în timpul funcționării echipamentului, a componentelor echipamentelor deteriorate sau chiar provoacă incendiu. Strângeți șuruburile punctelor de conectare a liniei în mod regulat și verificați contactul dintre mufă și priză.
3. Întreținerea sistemului de control: Sistemul de control al echipamentului este responsabil pentru monitorizarea și reglarea diverșilor parametri ai procesului de sputtering. Copiați de rezervă în mod regulat datele din sistemul de control pentru a preveni pierderea datelor. În același timp, verificați dacă există prompturi de actualizare pentru software -ul sistemului de control. Actualizările software în timp util pot repara vulnerabilitățile cunoscute și pot îmbunătăți stabilitatea și funcția sistemului. În plus, curățați interfața de operare a sistemului de control pentru a vă asigura că butoanele și ecranul de afișare funcționează corect, iar operatorul poate introduce cu exactitate parametrii și obține informații de funcționare a echipamentului.
Întreținerea sistemului de răcire
1. Inspecția lichidului de răcire: Sistemul de răcire este utilizat pentru a reduce căldura generată de echipament în timpul funcționării. Lichidul de răcire este mijlocul cheie al sistemului de răcire. Verificați în mod regulat nivelul lichidului de răcire pentru a vă asigura că nivelul este în intervalul normal. Nivelul de răcire va scădea din cauza evaporării, scurgerilor, etc. în timpul utilizării pe termen lung. Un nivel prea scăzut va afecta efectul de răcire. În același timp, verificați calitatea lichidului de răcire și observați dacă lichidul de răcire este decolorat, turbid sau are un miros. Dacă lichidul de răcire se deteriorează, acesta trebuie înlocuit la timp. În general, este recomandat să înlocuiți lichidul de răcire la fiecare 1-2 ani. Ciclul de înlocuire specific poate fi determinat în funcție de utilizarea echipamentului și a recomandărilor producătorului.
2. Întreținerea conductei de răcire: verificați dacă conducta de răcire este blocată. Interiorul conductei de răcire poate fi blocat din cauza acumulării de scară, impurități etc., afectând fluxul normal al lichidului de răcire. Țeava poate fi curățată prin curățare chimică sau curățare fizică. Curățarea chimică poate utiliza un agent special de curățare a conductelor, dar acordă atenție concentrației agentului de curățare și timpului de curățare pentru a evita coroziunea la conductă. Curățarea fizică poate fi realizată prin spălarea pistolului de apă de înaltă presiune și alte metode. În plus, verificați sigilarea conductei de răcire pentru a preveni scurgerea de răcire. Dacă se găsește o scurgere în țeavă, piesele de țeavă deteriorate trebuie reparate sau înlocuite la timp.
3. Inspecția echipamentelor de răcire: Verificați pompa de apă, radiatorul și alte echipamente din sistemul de răcire. Asigurați -vă că pompa de apă funcționează normal. Rotorul rotorului pompei de apă poate afecta capacitatea de pompare din cauza uzurii. Dacă se constată că pompa de apă pompează anormal, pompa de apă trebuie reparată sau înlocuită la timp. Verificați dacă aripioarele radiatorului de căldură ale radiatorului sunt blocate, curățați praful și resturile de pe aripioarele chiuvetei de căldură și asigurați -vă că radiatorul poate disipa eficient căldura. În același timp, verificați funcționarea ventilatorului de răcire pentru a vă asigura că ventilatorul poate furniza în mod normal aerul de răcire pentru calorifer.
Curățarea echipamentelor și întreținerea mediului
1. Curățarea suprafeței echipamentului: curățați regulat suprafața echipamentului de sputtering cu magnetron pentru a îndepărta praful, uleiul și alți poluanți. Puteți utiliza o cârpă moale curată pentru a scufunda într -o cantitate adecvată de detergent și pentru a șterge ușor suprafața echipamentului. Pentru unele pete încăpățânate, puteți utiliza un produs de curățare special pentru echipamente, dar aveți grijă să evitați detergentul să intre în interiorul echipamentului. După curățare, ștergeți suprafața echipamentului cu o cârpă curată pentru a menține aspectul echipamentului curat.
2. Mediul de lucru curat: mediul de lucru al echipamentului are, de asemenea, un impact important asupra performanței și vieții sale. Mențineți mediul de lucru curat, curățați praful de pe sol în mod regulat și evitați prea mult praf să intre în echipament. Controlează temperatura și umiditatea mediului de lucru. În general, echipamentele de sputtering cu magnetron sunt potrivite pentru a lucra într-un mediu cu o temperatură de 20-25 și o umiditate relativă de 40%-60%. Echipamentele de aer condiționat și dezumidificare pot fi instalate pentru a regla temperatura și umiditatea ambiantă. În plus, asigurați -vă că mediul de lucru este bine ventilat pentru a preveni acumularea de căldură și gaze de evacuare generate în timpul funcționării echipamentului.
Pe scurt, întreținerea zilnică a echipamentelor de sputtering cu magnetron acoperă mai multe aspecte, cum ar fi sistemul de vid, ținta de sputtering, sistemul electric, sistemul de răcire, curățarea echipamentelor și întreținerea mediului. Operatorii ar trebui să urmeze cu strictețe manualul de întreținere al producătorului de echipamente pentru întreținerea periodică, să descopere prompt și să rezolve problemele potențiale, astfel încât să asigure funcționarea stabilă a echipamentului, să îmbunătățească durata de viață a echipamentului și, astfel, să îmbunătățească calitatea și eficiența producției a filmului sputtered.
