Fluxul de lucru al unei mașini de acoperire optică include, de obicei, următorii etape principale: pretratare, acoperire, monitorizare și reglare, răcire și îndepărtare. Procesul specific poate varia în funcție de tipul de echipament (cum ar fi mașina de acoperire a evaporării, mașina de acoperire a sputtering-ului etc.) și procesul de acoperire (cum ar fi film cu un singur strat, film cu mai multe straturi etc.), dar, în general, procesul de acoperire optică este următorul:
1. Etapa de pregătire
Curățarea și pregătirea componentelor optice:
Înainte de acoperire, componentele optice (cum ar fi lentile, filtrele, sticla optică etc.) trebuie curățate în detaliu. Acest pas este baza pentru asigurarea calității acoperirii. Metodele comune de curățare includ curățarea cu ultrasunete, curățarea acidului, curățarea cu aburi etc.
Componentele optice curățate sunt de obicei plasate pe dispozitivul rotativ sau pe sistemul de prindere a mașinii de acoperire pentru a se asigura că acestea pot rămâne stabile în timpul procesului de acoperire.
Pretratarea camerei de vid:
Înainte de a plasa componentele optice în mașina de acoperire, camera de acoperire trebuie evacuată într -un anumit grad de vid. Mediul de vid poate elimina eficient impuritățile, oxigenul și vaporii de apă în aer, le poate împiedica să reacționeze cu materialul de acoperire și să asigure puritatea și calitatea filmului.
De obicei, camera de acoperire trebuie să ajungă la vid ridicat (10 ⁻⁵ 10⁻⁶ PA) sau vid mediu (10⁻³ până la 10⁻⁴ PA).
2. Procesul de acoperire
Începeți sursa de acoperire:
Sursa de acoperire adoptă de obicei sursa de evaporare sau sursa de sputtering. Diferite surse de acoperire vor fi selectate în funcție de diferite procese și materiale de acoperire.
Sursa de evaporare: utilizați echipamente de încălzire (cum ar fi evaporatorul fasciculului de electroni sau evaporatorul de încălzire a rezistenței) pentru a încălzi materialul de acoperire la starea de evaporare, astfel încât moleculele sau atomii să se evapore și să depună pe suprafața elementului optic în vid.
Sursa de sputtering: Prin aplicarea de înaltă tensiune pentru a face ca materialul țintă să se ciocnească cu ioni, atomii sau moleculele materialului țintă sunt stropite, iar acești atomi sau molecule sunt depuse pe suprafața elementului optic pentru a forma o peliculă subțire.
Depunerea materialelor subțiri de film:
Într -un mediu de vid, materialul de acoperire se evaporă sau se învârte din sursă (cum ar fi sursa de evaporare sau materialul țintă) și depune treptat pe suprafața elementului optic.
Rata de depunere și grosimea filmului trebuie controlate cu exactitate pentru a se asigura că stratul de film este uniform, continuu și îndeplinește cerințele de proiectare. Parametrii în timpul procesului de depunere (cum ar fi curentul, fluxul de gaz, temperatura etc.) vor afecta în mod direct calitatea filmului.
Monitorizare subțire a filmului și control grosime:
În timpul procesului de acoperire, grosimea și calitatea filmului sunt de obicei monitorizate în timp real. Instrumentele de monitorizare utilizate în mod obișnuit includ senzori precum ** microbalanța de cristal de cuarț (QCM) **, care poate detecta cu exactitate rata de depunere și grosimea filmului.
Pe baza acestor date de monitorizare, sistemul poate ajusta automat parametrii, cum ar fi puterea sursei de acoperire, fluxul de gaz sau viteza de rotație a componentei pentru a menține consistența și uniformitatea stratului de film.
Film cu mai multe straturi (dacă este necesar):
Pentru componentele optice care necesită o structură de film multistrat, procesul de acoperire este de obicei efectuat strat după strat. După ce fiecare strat de film este depus, sistemul va efectua detectarea și reglarea repetată a grosimii filmului pentru a se asigura că calitatea fiecărui strat îndeplinește cerințele de proiectare.
Acest proces necesită un control precis al grosimii și tipului de material al fiecărui strat pentru a se asigura că fiecare strat poate funcționa într -un interval specific de lungime de undă, cum ar fi reflectarea, transmisia sau interferența.
3. Răcire și îndepărtare
Răcire:
După acoperire, componentele optice și mașina de acoperire trebuie răcite. Deoarece echipamentele și componentele pot deveni calde în timpul procesului de acoperire, acestea trebuie să fie răcite la temperatura camerei printr -un sistem de răcire (cum ar fi apă de răcire sau flux de aer) pentru a preveni deteriorarea termică.
În unele procese de acoperire la temperaturi ridicate, răcirea nu numai că protejează componentele optice, dar permite și filmului să obțină aderență și stabilitate optimă.
Eliminarea componentelor optice:
După răcire, componentele optice pot fi îndepărtate din mașina de acoperire.
Înainte de îndepărtare, efectul de acoperire trebuie verificat, inclusiv uniformitatea, grosimea, adeziunea etc. a stratului de film pentru a se asigura că calitatea acoperirii îndeplinește cerințele.
4. Post-tratament (opțional)
Întărirea filmului:
Uneori, filmul după acoperire trebuie să fie întărit pentru a îmbunătăți rezistența la zgârieturi și durabilitatea filmului. Acest lucru se face de obicei prin tratamentul termic sau prin iradierea ultravioletelor.
Curățare de film:
Pentru a elimina poluanții, grăsimea sau alte impurități pe suprafața filmului, poate fi necesară o ușoară curățare, cum ar fi spălarea, tratamentul cu ultrasunete etc.
5. Inspecție și testare a calității
Test de performanță optică: După acoperire, o serie de teste de performanță sunt efectuate pe componentele optice, inclusiv transmiterea, reflectivitatea, uniformitatea filmului etc., pentru a se asigura că îndeplinesc cerințele tehnice.
Test de adeziune: verificați dacă aderența dintre film și substrat este fermă prin testul de bandă sau testul de zgârieturi.
Test de stabilitate a mediului: Uneori, testele de stabilitate în condiții de mediu, cum ar fi temperatura, umiditatea și razele ultraviolete sunt necesare pentru a asigura fiabilitatea stratului de acoperire în aplicațiile reale.
