Mașina de acoperire cu vid optic constă dintr-un sistem de vid, un sistem de evaporare, un sistem de răcire și un sistem electric. Sistemul de vid constă dintr-un rezervor de vid și un sistem de evacuare. Rezervorul de vid este corpul principal al mașinii de acoperire, iar procesul de acoperire este finalizat în rezervorul de vid. Rezervorul de vid și sistemul de evacuare sunt conectate printr-o supapă de conectare. Pentru a preveni influența moleculelor de aer asupra ionilor pulverizați și pentru a îmbunătăți calitatea stratului de film, componentele optice și sursa de ioni trebuie plasate într-un mediu de vid în timpul funcționării.
Sistemul de evacuare constă în principal dintr-o pompă mecanică, o pompă Roots și o pompă de vid, care este responsabilă pentru evacuarea gazului din rezervorul de vid și formarea unui mediu de vid în rezervor. Sistemul de evaporare se referă în principal la dispozitivul de formare a peliculei. Există multe tipuri de dispozitive de formare a peliculei în mașina de acoperire, cum ar fi încălzirea cu rezistență, evaporarea cu pistolul de electroni, pulverizarea cu magnetron, pulverizarea cu frecvență radio, placarea cu ioni etc.
Mașinile optice de acoperire în vid aplică pelicule subțiri componentelor optice prin pulverizare în vid, modificând reflectivitatea și transmisia luminii incidente. Pentru a minimiza pierderile de reflexie pe suprafața componentei și pentru a îmbunătăți calitatea imaginii, sunt adesea aplicate mai multe straturi de filme subțiri. După acoperirea unei componente optice, lumina reflectă și transmite de mai multe ori pe suprafața filmului multistrat, formând mai multe fascicule de interferență. Prin controlul grosimii și indicelui de refracție al straturilor de film, pot fi realizate distribuții variate de intensitate. Acest principiu poate fi utilizat pentru fabricarea de filme reflectorizante polarizante, filme de separare a culorilor, filme de lumină rece și filtre de interferență pentru a satisface nevoi mai complexe.
