În prezent, există multe metode de monitorizare a filmelor subțiri în mașinile de acoperire în vid, incluzând în principal: monitorizarea vizuală, monitorizarea valorii fixe (extreme), monitorizarea oscilației cristalului și monitorizarea timpului. Acest articol va introduce în primul rând trei metode: monitorizarea vizuală, monitorizarea cu valori fixe (extreme) și monitorizarea oscilației cristalului. Monitorizarea vizuală, cunoscută și sub numele de monitorizare directă, folosește ochii pentru a monitoriza filmul. În timpul procesului de creștere a filmului, fenomenele de interferență provoacă schimbări de culoare și controlăm grosimea filmului pe baza acestor modificări de culoare. Această metodă are un anumit grad de eroare și nu este foarte precisă, necesitând experiență.
Monitorizare cu valoare-fixă (valoare-extremă): aceasta utilizează în principal monitorizare optică reflectivă (transmisivă). Metoda de monitorizare a valorii-extreme: pe măsură ce grosimea filmului crește, reflectivitatea și transmitanța acestuia se modifică în consecință. Când reflectivitatea sau transmitanța atinge un punct extrem, grosimea optică ND a acoperirii poate fi determinată ca fiind un multiplu întreg de un -sfert din lungimea de undă de monitorizare (λ). Cu toate acestea, metoda valorii-extreme are o eroare relativ mare, deoarece reflectivitatea sau transmitanța se modifică foarte lent în apropierea valorii extreme; adică, R/T se modifică numai după o creștere semnificativă a grosimii filmului ND. Poziția cea mai sensibilă se află la o-opteme din lungimea de undă. Metoda de monitorizare cu valoare fixă-: această metodă utilizează faptul că punctul de oprire al acoperirii nu este la un-sfert din lungimea de undă de monitorizare. Apoi, computerul calculează reflectivitatea (sau transmitanța) grosimii totale a filmului la lungimea de undă 1, care este punctul de oprire al acoperirii. Monitorizarea oscilației cristalului: Principiul de funcționare al oscilației cristalului se bazează pe principiul că frecvența de vibrație a unui cristal de cuarț este invers proporțională cu masa acestuia. Cu toate acestea, un dezavantaj al monitorizării cuarțului este că atunci când grosimea filmului crește la un anumit nivel, frecvența vibrațiilor nu este în întregime legată liniar de grosime datorită proprietăților cuarțului însuși. În acest caz, trebuie utilizat un nou oscilator cu cuarț.
Mai multe metode de monitorizare au fiecare avantajele și dezavantajele lor, dar pentru acoperirile multi-strat, monitorizarea optică este de obicei metoda principală, completată de oscilația cristalului de cuarț. În plus, pentru unele procese care necesită injecție de gaz în timpul acoperirii, sunt necesare debitmetre sau manometre, care necesită supape precise și sisteme de detectare fotoelectrică pentru control. Mașinile de acoperire în vid necesită, de asemenea, un sistem de control al rotației, în care arborele principal al umbrelei este plasat în interiorul unui rulment, iar un motor antrenează rulmentul pentru a roti umbrela. Viteza de rotație este apoi controlată de un PLC. Rotația creuzetului este condusă de un motor și folosește numărătoarea prin inducție fotoelectrică, în timp ce placa de ecranare se rotește folosind un comutator pneumatic. Pentru a accelera viteza de pompare și pentru a atinge un anumit nivel de vid, camera de vid trebuie să fie răcită, înghețând aerul din interior la -130 de grade Celsius și înghețând și eliminând orice vapori de apă. Secțiunea de control electric adoptă în principal control automat PLC. Programul pre-proiectat este introdus mai întâi în PLC, iar circuitul principal al procesorului este conectat la fiecare sistem fără sarcină de pe panoul de operare. Când comutatorul de pe panoul de operare este apăsat, informația este transmisă procesorului central, iar apoi sistemul central de control analizează și emite instrucțiuni circuitelor de ramificație pentru a executa și finaliza acțiunea.
Mașinile de acoperire în vid sunt dispozitive care integrează mai multe discipline. Acestea încorporează cele mai avansate tehnologii electromecanice, tehnologii de control, automatizări electrice, tehnologii IT, tehnologii de refrigerare, sisteme integrate cu microcircuite, sisteme de control de înaltă-tensiune, tehnologii mecanice, tehnologii de procesare, tehnologii optoelectronice, tehnologii optice, tehnologii de control pneumatic, tehnologii de detectare optoelectronice, tehnologii de comunicare, tehnologii de vid, tehnologii de film subțire,{2} și altele. Mașinile de acoperire în vid pot fi considerate un reprezentant al industriilor emergente. Astăzi, mașinile de acoperire în vid sunt utilizate pe scară largă, în special în producția de pelicule subțiri. Diferitele filme subțiri produse sunt utilizate în diverse sisteme optoelectronice și instrumente optice, cum ar fi camere digitale, camere video digitale, telescoape, proiectoare, controlul energiei, comunicații optice, tehnologie de afișare, interferometre, sateliți și rachete artificiale, lasere semiconductoare, sisteme microelectromecanice, industria informațională, fabricarea laserelor, diverse filtre, industria sticlă, industria luminii, industria luminii, industria decorativă, industria automotivă. articole, monede, lentile de ochelari și multe altele. Mașinile de acoperire au devenit strâns integrate în viața umană.
