1. Camera de vid
Camera de vid este partea principală a mașinii de acoperire cu vid. Funcția sa principală este de a crea un mediu de vid și de a menține procesul de acoperire într -o stare de vid. Camera de vid este de obicei confecționată din materiale din oțel inoxidabil sau aliaj de aluminiu, cu etanșare ridicată la vid și rezistență la coroziune.
2. Sistem de pompe
Sistemul de pompe este unul dintre componentele cheie ale mașinii de acoperire cu vid. Este responsabil în principal de extragerea gazului în camera de vid pentru a face ca gradul de vid să atingă gradul necesar. Sistemul de pompe este de obicei compus din pompe moleculare, pompe mecanice și pompe de difuzie. Diferite combinații de pompe pot obține diferite grade de vid și viteze de pompare.
3. Dispozitiv de prindere a substratului
Dispozitivul de prindere a substratului este o altă componentă importantă a mașinii de acoperire cu vid. Este utilizat pentru a repara materialul de substrat pentru a fi acoperit și pentru a controla poziția și traiectoria de mișcare. Dispozitivul de prindere a substratului este de obicei compus dintr -o masă rotativă, un mecanism de ridicare și o clemă de substrat. Diferite cleme se pot adapta la substraturi de diferite forme și dimensiuni.
4. Sistem de încălzire
Sistemul de încălzire este o componentă necesară în mașina de acoperire cu vid. Poate încălzi substratul și materialul de acoperire pentru a promova formarea acoperirii și pentru a îmbunătăți calitatea acestuia. Sistemul de încălzire este de obicei implementat prin sârmă de rezistență, încălzire electromagnetică, încălzire a inducției și alte metode.
5. Sursa de acoperire
Sursa de acoperire este ultima componentă din mașina de acoperire cu vid. Este utilizat pentru a furniza materialul care trebuie acoperit, inclusiv metale, ceramică, siliciu și alte materiale. Sursa de acoperire poate depune materialul pe substrat prin fascicul de electroni, evaporare, sputtering și alte metode pentru a forma acoperirea necesară.
Rezumat: Mașina de acoperire în vid este un dispozitiv utilizat pentru fabricarea acoperirilor de înaltă calitate, în care camera de vid, sistemul de pompe, dispozitivul de prindere a substratului, sistemul de încălzire și sursa de acoperire sunt componentele sale principale. Aceste componente lucrează împreună pentru a finaliza procesul de pregătire a acoperirii.
